一种晶圆检测设备铸件基座
基本信息
| 申请号 | CN202110092455.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112798827A | 公开（公告）日 | 2021-05-14 |
| 申请公布号 | CN112798827A | 申请公布日 | 2021-05-14 |
| 分类号 | G01R1/04;G01R1/14 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 梅力;胡冬云 | 申请（专利权）人 | 南通盟鼎新材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226000 江苏省南通市高新技术产业开发区杏园路北 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆检测设备铸件基座，包括基座本体，基座本体包括底座、安装平台和支撑腿组件，支撑腿组件安装于底座下端面四个角，安装平台安装于底座上端面，安装平台上端面安装上安装架，上安装架包括左安装板、右安装板和顶板，左安装板、右安装板立设于安装平台两侧，顶板安装于左安装板和右安装板顶部之间，安装平台上还设置安装轨道，本发明结构简单，整体稳定性好，具有优异的减震、缓冲和抗压效果，能够提高晶圆检测设备的安装稳定性和后续检测精度。 |
