压力传感器的性能测试方法、测试装置及存储介质
基本信息
| 申请号 | CN202010465052.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111537143B | 公开（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申请公布号 | CN111537143B | 申请公布日 | 2022-02-25 |
| 分类号 | G01L27/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 姜琳琳;孙振国;冀志猛 | 申请（专利权）人 | 荣成歌尔微电子有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 | 代理人 | 陈文斌 |
| 地址 | 264200山东省威海市荣成市兴业路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种压力传感器的性能测试方法，包括：在不同预设温度以及同一预设压力值下获取压力传感器的第一实际温度值、第二实际温度值、第一实际压力值以及第二实际压力值；根据所述第一实际温度值、所述第一实际压力值、所述第二实际温度值以及所述第二实际压力值获取温度漂移值；在所述温度漂移值小于或等于预设温度漂移值时，根据第二预设压力值以及所述第二预设温度对所述压力传感器进行压力测试，所述第一预设压力值小于所述第二预设压力值。本发明还公开一种测试装置及存储介质。本发明通过控制单一变量，保证测试温度漂移值的准确性，同时避免加压对压力传感器硅膜片的影响，降低对压力传感器的误判率的有益效果。 |
