一种用于导模法生长氧化镓晶体的监控系统及氧化镓晶体制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110178952.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113026103A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN113026103A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | C30B29/16;C30B15/34;C30B15/28;C30B15/26 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 齐红基;赛青林;陈端阳 | 申请（专利权）人 | 杭州富加镓业科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市君胜知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘文求;朱阳波 |
| 地址 | 311400 浙江省杭州市富阳区春江街道江南路68号第23幢301室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种用于导模法生长氧化镓晶体的监控系统及氧化镓晶体制备方法，其中，所述监控系统包括设置有观察窗的晶体生长炉以及籽晶杆，所述籽晶杆的一端插入到所述晶体生长炉内，所述籽晶杆的另一端连接有升降装置，所述籽晶杆靠近所述升降装置的一侧上还设置有用于实时获取氧化镓晶体重量的压力传感器，所述观察窗外侧设置有红外摄像机，所述压力传感器与所述红外摄像机均与外接计算机电连接。本实施例提供的监控系统可以及时识别氧化镓晶体生长过程中出现的过热或者过冷的现象，并且第一时间调节发热体的加热功率，有效降低由于过热或者过冷导致的晶体生长失败问题，有利于规模化生产高质量、低成本的氧化镓单晶。 |
