一种籽晶杆抖动检测装置的检测方法及晶体生长方法
基本信息
| 申请号 | CN202110180093.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113049082A | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN113049082A | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | G01H9/00;C30B29/16;C30B15/26 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 齐红基;陈端阳 | 申请（专利权）人 | 杭州富加镓业科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市君胜知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘文求;朱阳波 |
| 地址 | 311400 浙江省杭州市富阳区春江街道江南路68号第23幢301室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种籽晶杆抖动检测装置的检测方法及晶体生长方法，检测方法包括步骤：控制所述成像器对所述籽晶杆进行成像，得到所述籽晶杆对应的图像序列；所述图像序列中的图像为所述籽晶杆一个振动周期内的图像，所述图像序列包括第一图像和第二图像；根据所述图像序列，确定所述籽晶杆的抖动信息。由于通过成像器得到籽晶杆对应的图像序列，图像序列包括第一图像和第二图像，并根据图像序列，得到籽晶杆的抖动信息，从而检测晶体生长过程中籽晶杆的抖动情况。 |
