一种制备CIGS太阳能电池的方法
基本信息
| 申请号 | CN201310740599.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103681975B | 公开（公告）日 | 2017-01-25 |
| 申请公布号 | CN103681975B | 申请公布日 | 2017-01-25 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈进中;莫经耀;吴伯增;林东东;甘振英 | 申请（专利权）人 | 广西华锡集团股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州凯东知识产权代理有限公司 | 代理人 | 姚迎新 |
| 地址 | 545006 广西壮族自治区柳州市高新一路15号标准车间D栋东面5楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及CIGS太阳能电池，具体说是一种制备CIGS太阳能电池的方法,其包括在基板上溅镀钼电极层、将具有钼电极层的基板置于真空室内，并正向推动基板，在基板上溅镀CIGS吸收层、反向推动基板，在吸收层上溅镀CdS缓冲层、并在缓冲层上镀上ZnO导电氧化层、在导电氧化层上镀上AZO层、切割封装。本发明通过基板的正向移动，溅镀吸收层；基板反向移动，溅镀缓冲层，不仅提高了生产效率，而且节省了空间，降低了生产成本。本发明有效控制了CIGS吸收层的溅镀，并精确控制了各层的厚度，生产的产品质量好。 |
