一种真空镀膜箱设备
基本信息
| 申请号 | CN201611003972.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106555158A | 公开（公告）日 | 2017-04-05 |
| 申请公布号 | CN106555158A | 申请公布日 | 2017-04-05 |
| 分类号 | C23C14/00(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 高扬 | 申请（专利权）人 | 江苏力栋机械科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 东莞市秦智工业设计有限公司;靖江市正源汽车配件有限公司 |
| 地址 | 523000 广东省东莞市东城区光明大道27号千栩大厦436室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种真空镀膜箱设备，包括镀膜箱、自动门机构和自动门驱动机构，所述镀膜箱的前侧开口，镀膜箱的开口侧安装有自动门机构，自动门驱动机构安装在镀膜箱的右侧，自动门驱动机构与自动门机构之间通过齿轮齿条啮合连接。它更加方便地将基板放入真空镀膜箱，且方便地将真空镀膜箱开口侧封闭。 |
