涡轮分子泵减震器
基本信息
| 申请号 | CN201710683709.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109386564A | 公开（公告）日 | 2019-02-26 |
| 申请公布号 | CN109386564A | 申请公布日 | 2019-02-26 |
| 分类号 | F16F3/12 | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 戴晓鹏 | 申请（专利权）人 | 合肥国仪精密科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201210 上海市浦东新区紫薇路193弄14号501室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种涡轮分子泵减震器，包括法兰一、筒体一、不锈钢波纹管，橡胶填充物、筒体二及法兰二。本发明提供的涡轮分子泵减震器，其通过上下两个法兰分别与扫描电子显微镜样品室和涡轮分子泵密封联接，通过不锈钢波纹管和橡胶填充物的共同作用，可以有效防止涡轮分子泵在运转过程中产生的震动向扫描电子显微镜样品室传递。本发明在解决涡轮分子泵减震问题的同时又完成了涡轮分子泵的安装固定，极大地简化了装配过程的复杂性。 |
