一种多功能晶圆裂片机
基本信息
| 申请号 | CN202122483227.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216120226U | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN216120226U | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/78（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 古德宗;廖浚男;范光宇 | 申请（专利权）人 | 嘉兴市扬佳科技合伙企业（有限合伙） |
| 代理机构 | 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王家蕾 |
| 地址 | 314513浙江省嘉兴市桐乡市洲泉镇湘溪大道1383号2幢2层1间 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多功能晶圆裂片机，包括工作台和辅助机构，两个滑块相对的一侧均固定连接有固定块，两个固定块之间设置有辊压机构，辅助机构设有两组，辅助机构由橡胶刮板、两个连接块和弹簧组成，两个固定块相对的一侧均开设有第一滑槽，两个连接块分别滑动连接于两个第一滑槽的内壁，两个弹簧分别设置于两个第一滑槽的内部。本实用新型利用橡胶刮板、连接块和弹簧的设置，通过弹簧的弹性作用，使得弹簧一直挤压连接块，连接块将这个挤压力作用到橡胶刮板上，使得橡胶刮板一直挤压这胶辊的外壁，从而使得晶圆在附着到胶辊上还没转动半圈便被橡胶刮板刮下，避免晶圆继续转动受到损坏，提高了胶辊对晶圆的分离质量。 |
