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一种电阻式6英寸碳化硅单晶炉的机械系统

基本信息

申请号	CN202111239982.6	申请日	-
公开（公告）号	CN113981538A	公开（公告）日	2022-01-28
申请公布号	CN113981538A	申请公布日	2022-01-28
分类号	C30B29/36（2006.01）I;C30B35/00（2006.01）I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	不公告发明人	申请（专利权）人	哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司
代理机构	哈尔滨市晨晟知识产权代理有限公司	代理人	朱永林
地址	150000黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街3043号哈尔滨松北（深圳龙岗）科技创新产业园12栋1-5楼
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种单晶炉的机械系统，具体涉及一种电阻式6英寸碳化硅单晶炉的机械系统。该系统包括底座、机械旋转腔室、支柱、电机、炉体、循环水系统、大炉盖、小炉盖、电极、大炉盖驱动架、小炉盖驱动架、驱动电机、测温装置、真空检测装置、进气孔及出气孔。其特征在于底座为长方体，机械旋转腔室嵌入底座内，支柱为圆柱体，安置于底座内部，炉体位于底座上方，夹层处设有循环水系统，大炉盖呈圆形，位于炉体上方，电极呈圆环形，位于炉体内部，大炉盖驱动架及小炉盖驱动架位于炉体两侧，通过驱动电机安置于底座上，测温装置及真空检测装置位于小炉盖两侧，进气孔与出气孔安置于大炉盖及炉体右侧。该机械系统可有效提高晶体质量，降低生长成本。