一种改善反应室内气体流场的装置
基本信息
| 申请号 | CN202122349007.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216074091U | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN216074091U | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | C30B23/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I;C30B29/40（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 代理机构 | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈润明 |
| 地址 | 150000黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街3043号哈尔滨松北（深圳龙岗）科技创新产业园12栋1-5楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种改善反应室内气体流场的装置，属于晶体生长技术领域。本实用新型包括坩埚体、石墨上盖和籽晶托，坩埚体顶部安装有石墨上盖，坩埚体和石墨上盖之间设置有籽晶托，籽晶托底部安装有籽晶，还包括气流导向装置，坩埚体内中部安装有气流导向装置，气流导向装置将坩埚体分为反应室和原料室上下两部分，原料室内部填充有原料，气流导向装置顶部加工有引流口，引流口处于籽晶正下方。本实用新型研发目的是为了解决现有晶体生长往往是原料直接气化进入坩埚腔，而缺乏对气流有效控制的问题，本实用新型有利于保持组分恒定均匀，减少气体夹杂的颗粒物杂质，提高单晶质量，结构简单、设计巧妙、拆装方便、组装牢固，适于推广使用。 |
