一种晶体生长测温装置
基本信息
| 申请号 | CN202122346666.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216050293U | 公开（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申请公布号 | CN216050293U | 申请公布日 | 2022-03-15 |
| 分类号 | G01J5/00（2022.01）I;G01J5/05（2022.01）I;G01J5/0875（2022.01）I;G01J5/0813（2022.01）I;C30B35/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 代理机构 | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈润明 |
| 地址 | 150000黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街3043号哈尔滨松北（深圳龙岗）科技创新产业园12栋1-5楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种晶体生长测温装置，属于晶体生长技术领域。本实用新型筒体内部设置有热场，连接管一端与筒体内部连通设置，连接管另一端设置有视窗，视窗外侧配合安装有转角可视测温仪，所述连接管的侧壁开设有与内部连通的排气管，还包括安装挡板和气流导向筒，气流导向筒一端通过安装挡板安装在连接管与筒体的连接处，气流导向筒另一端伸入连接管内部并且靠近视窗内侧，筒体内部的气体通过气流导向筒流入连接管，在连接管内部靠近视窗一侧形成冲击气流，冲击气流对视窗内侧沉积的挥发物冲击震落后，从连接管侧壁的排气管排出。目的是为了解决测温窗不洁净，影响红外线测温精度的问题，结构简单、设计巧妙、拆装方便、组装牢固，适于推广使用。 |
