石墨烯带太赫兹传感器
基本信息
| 申请号 | CN201710283429.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106960892B | 公开（公告）日 | 2018-11-06 |
| 申请公布号 | CN106960892B | 申请公布日 | 2018-11-06 |
| 分类号 | H01L31/112;H01L31/028;H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 黄晓敏 | 申请（专利权）人 | 广东同缘堂保健科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京东方盛凡知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 烟台小米机械技术有限公司;广东同缘堂保健科技有限公司 |
| 地址 | 264006 山东省烟台市经济技术开发区金东业务楼5楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种石墨烯带太赫兹传感器，包括源漏极之间连接的石墨烯带，通过在硅基板上形成凹槽和凹槽上的金属层，将石墨烯层通过金属辅助氧化方法去除与金属层接触的部分，形成石墨烯带，利用石墨烯带特有的电学性能对太赫兹进行探测，实现高效率的石墨烯带太赫兹传感器。 |
