一种旋转密封的离子源结构

基本信息

申请号 CN202210027769.7 申请日 -
公开(公告)号 CN114390765A 公开(公告)日 2022-04-22
申请公布号 CN114390765A 申请公布日 2022-04-22
分类号 H05H1/24(2006.01)I;H01J37/08(2006.01)I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 李文峰;李庆运;陈伟章;王磊;王东鉴 申请(专利权)人 深圳市步锐生物科技有限公司
代理机构 深圳市广诺专利代理事务所(普通合伙) 代理人 韦爱荣
地址 518000广东省深圳市福田区泰然九路11号海松大厦B座1905
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种旋转密封的离子源结构,其特征包括:离子源外壳,所述离子源外壳内安装有进样电极;密封环,所述密封环设置在所述进样电极朝内侧的一端,所密封环的外侧设有旋转杆,所述密封环转动安装在所述离子源外壳上;离子聚焦电极,所述离子聚焦电极安装在所述离子源外壳内;离子引出电极,所述离子引出电极安装在所述离子源外壳内;电离源,所述电离源安装在所述离子源外壳外侧并与所述进样电极配合;电离通路,所述电离通路分别设在所述离子源外壳、所述密封环、所述进样电极上,通过所述电离通路将所述电离源与所述进样电极连通;以及其他部件;实现了在不破坏仪器真空条件下快速对电离源进行维护、更换工作,提高设备的维护效率。