一种适用于硅片分选机的行走臂机构
基本信息
申请号 | CN202020279614.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN212049503U | 公开(公告)日 | 2020-12-01 |
申请公布号 | CN212049503U | 申请公布日 | 2020-12-01 |
分类号 | B65G47/91(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料; |
发明人 | 何金峰;冯志城 | 申请(专利权)人 | 常州科隆威智能技术有限公司 |
代理机构 | 苏州通途佳捷专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 闵东 |
地址 | 213000 江苏省常州市金坛区鑫城大道239号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种适用于硅片分选机的行走臂机构,包括支撑架、运输硅片的输送带、位于所述支撑架上的料盒和用于吸取硅片并将其移动至料盒内的行走臂结构,所述料盒呈矩形阵列分布在所述支撑架的顶部,所述输送带水平设置于所述支撑架上方;所述支撑架与所述行走臂结构均安装在分选机的机架上,所述行走臂结构由负压吸附组件、水平移动组件和驱动结构组成,所述负压吸附组件安装在所述水平移动组件上。有益效果在于:结构简单,运行平稳,稳定性好;通过齿带式电缸配合吸盘组成的行走臂结构,可在吸盘吸料后,在齿带式电缸的驱动下进行两侧放料,从而缩减行走臂搬运硅片的时间,提高分选机的分选效率。 |
