石墨烯金属复合粉体连续生长设备
基本信息
| 申请号 | CN201822232542.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209974884U | 公开（公告）日 | 2020-01-21 |
| 申请公布号 | CN209974884U | 申请公布日 | 2020-01-21 |
| 分类号 | C23C16/455;C23C16/06;C23C16/26 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 马瑜;吕雪超;王续杨;钱天宝;杨军 | 申请（专利权）人 | 上海新池能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京卓言知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海新池能源科技有限公司;浙江正泰电器股份有限公司 |
| 地址 | 201821 上海市嘉定区嘉定工业区叶城路1411号4幢202室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种石墨烯金属复合粉体连续生长设备，包括依次相连的进样室、CVD管式炉和降温室，还包括真空机组、供气系统和加热装置，所述真空机组和供气系统均分别与进样室、CVD管式炉和降温室连接，所述加热装置与CVD管式炉连接，所述CVD管式炉与进样室之间的连通口处设有第一真空挡板阀，CVD管式炉与降温室之间的连通口处设有第二真空挡板阀。本实用新型的石墨烯金属复合粉体连续生长设备，提高生产效率，扩大生产规模，降低能耗。 |
