一种真空镀膜机腔体
基本信息
| 申请号 | CN202021221051.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212741505U | 公开（公告）日 | 2021-03-19 |
| 申请公布号 | CN212741505U | 申请公布日 | 2021-03-19 |
| 分类号 | F25B21/02(2006.01)I;F25D17/02(2006.01)I;C23C14/00(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 孟进 | 申请（专利权）人 | 上海畅桥真空系统制造有限公司 |
| 代理机构 | 北京沁优知识产权代理有限公司 | 代理人 | 方仕杰 |
| 地址 | 200000上海市金山区山富东路365号4幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种真空镀膜机腔体，属于真空镀膜机领域。该真空镀膜机腔体，包括腔体、冷却组件和散热组件。所述冷却管设置在所述中空槽内，所述泵体的抽水端设置在所述水箱内。所述散热翅片固定在所述水箱表面，所述半导体制冷片的制热面与所述散热翅片贴合；水箱内的冷却水通过泵体输入冷却管，并通过冷却管的另一端排回水箱内，使之将腔体产生的热量带入水箱内，增设的半导体制冷片对水箱内的冷却液进行降温，半导体制冷片的制热面通过散热翅片对外界进行热量的扩散，通过增设的中空槽进行水冷散热，使得腔体各个部位温度均匀，实现冷却的目的，有效保护了真空镀膜机，延长了其使用寿命。 |
