LPCVD和ALD两用布气装置
基本信息
| 申请号 | CN201910774024.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112410758A | 公开（公告）日 | 2021-02-26 |
| 申请公布号 | CN112410758A | 申请公布日 | 2021-02-26 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王杨阳;杨陆晗;王红美;彭为报;孙嵩泉 | 申请（专利权）人 | 普乐新能源（蚌埠）有限公司 |
| 代理机构 | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 张建宏 |
| 地址 | 233030安徽省蚌埠市汤和路268号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | LPCVD和ALD两用布气装置，包括加热炉，加热炉炉口处设置有用于连接布气装置的紧固法兰，紧固法兰沿轴向远离加热炉的一侧设有两个同轴连接的布气法兰，两个布气法兰与紧固法兰通过螺栓配合连接，设沿布气法兰的轴向靠近加热炉的一侧为内、远离加热炉的一侧为外，所述位于外侧的那个布气法兰的外侧设有一个与布气法兰相匹配的炉口盖板。采用本装置可以使一个加热炉兼容两种镀膜工艺，可以减少加热炉的采购量，减少成本而且还可以节省占用空间。 |
