低压化学气相沉积真空管式炉的柔性衬管
基本信息
| 申请号 | CN201920668512.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209974890U | 公开（公告）日 | 2020-01-21 |
| 申请公布号 | CN209974890U | 申请公布日 | 2020-01-21 |
| 分类号 | C23C16/54 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王杨阳;马磊;章新良;刘海;孙友巍;孙嵩泉 | 申请（专利权）人 | 普乐新能源（蚌埠）有限公司 |
| 代理机构 | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 普乐新能源（蚌埠）有限公司 |
| 地址 | 233030 安徽省蚌埠市汤和路268号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型给出了一种低压化学气相沉积真空管式炉的柔性衬管；包括骨架和石英玻璃纤维，骨架为两端开口的圆管状，骨架的外壁契合低压化学气相沉积真空管式炉的石英管内壁轮廓，骨架设有容纳内孔载片舟的内孔，石英玻璃纤维完全包裹在骨架外壁和内孔侧壁上形成石英玻璃纤维层，石英玻璃纤维层外侧镀有与低压化学气相沉积真空管式炉中反应气体产生的沉积物相同的沉积层。将本柔性衬管套装在低压化学气相沉积真空管式炉的石英管内壁上，沉积物沉积到本低压化学气相沉积真空管式炉的柔性衬管上，可以阻挡沉积物沉积到低压化学气相沉积真空管式炉的石英管上，而且本柔性衬管没有密封要求，便于维护，又易拆装，同时成本节约50％。 |
