菱形硅片载片舟的冷却装置
基本信息
| 申请号 | CN201921194958.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210560745U | 公开（公告）日 | 2020-05-19 |
| 申请公布号 | CN210560745U | 申请公布日 | 2020-05-19 |
| 分类号 | C23C16/458;C23C16/46;H01L21/67;H01L21/673 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王杨阳;王红美;章新良;孙嵩泉 | 申请（专利权）人 | 普乐新能源（蚌埠）有限公司 |
| 代理机构 | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 普乐新能源（蚌埠）有限公司 |
| 地址 | 233030 安徽省蚌埠市汤和路268号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型给出了一种菱形硅片载片舟的冷却装置；包括底座、风冷组件、两个支架和若干销轴；两个支架分别固定连接在底座上端面两侧，若干销轴分为两组，两组销轴分别固定在两个支架上，两组销轴相对布置，两组轴销与载片舟的底部配合且两组轴销用于支撑载片舟；风冷组件包括若干风冷管，风冷管一端与气源连接，风冷管另一端封闭，风冷管表面开有若干风冷孔，所述风冷孔对准载片舟上的菱形硅片。若干销轴支撑载片舟，气源向风冷组件的风冷管输送冷风介质，再从风冷孔吹出对载片舟上的菱形硅片进行冷却，加速了对菱形硅片的冷却作业，提升了工作效率。 |
