管式PECVD镀膜专用石墨舟
基本信息
| 申请号 | CN202110777810.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113355656A | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN113355656A | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | C23C16/458;C23C16/50;H01L31/18 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王杨阳;葛怀庆;练菊;孙友巍;孙嵩泉 | 申请（专利权）人 | 普乐新能源（蚌埠）有限公司 |
| 代理机构 | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 王琪;和聚龙 |
| 地址 | 233030 安徽省蚌埠市汤和路268号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明给出了一种管式PECVD镀膜专用石墨舟，包括依次平行布置的若干石墨舟片，所述石墨舟片上开有若干镂空区域，若干镂空区域依次间隔布置，所述石墨舟片对应镂空区域位置周围设有若干卡点；所述镂空区域覆盖有石墨网。石墨网代替原本石墨舟片的镂空区域，使得镀膜时均匀放电，硅片镀膜后四周不会有色差，提升镀膜质量。相比现有技术，石墨舟片上依旧可以开有镂空区域，由于只在镂空区域上增设石墨网，而且镂空区域延伸至对应卡点位置，并没有增加石墨舟的整体质量，但是克服了原本石墨舟镀膜不均匀的问题。 |
