一种硅棒的切割方法

基本信息

申请号 CN201911383252.6 申请日 -
公开(公告)号 CN113043486A 公开(公告)日 2021-06-29
申请公布号 CN113043486A 申请公布日 2021-06-29
分类号 B28D5/00;B28D5/04 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 郭庆红;李飞龙;熊震 申请(专利权)人 阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 巩克栋
地址 471023 河南省洛阳市洛龙科技园赢洲路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种硅棒的切割方法,所述方法包括采用切片机对硅棒进行双向切割,包括:1)硅棒切割深度达到目标终止位置占比<设定值M0时,正向切割,即以先正向再反向的方式切割硅片,且切割时正向的切割线使用量大于反向的切割线使用量;2)硅棒切割深度达到目标终止位置占比≥设定值M0时,反向切割,即以先正向再反向的方式切割硅片,且切割时正向的切割线使用量小于反向的切割线使用量。本发明的方法可显著改善停机时硅棒出现切不透的问题,降低加切率、硅片TTV占比、单片耗线量和加工成本,并能提升切割良品率。