一种硅棒的切割方法
基本信息
申请号 | CN201911383252.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113043486A | 公开(公告)日 | 2021-06-29 |
申请公布号 | CN113043486A | 申请公布日 | 2021-06-29 |
分类号 | B28D5/00;B28D5/04 | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
发明人 | 郭庆红;李飞龙;熊震 | 申请(专利权)人 | 阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司 |
代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 巩克栋 |
地址 | 471023 河南省洛阳市洛龙科技园赢洲路2号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种硅棒的切割方法,所述方法包括采用切片机对硅棒进行双向切割,包括:1)硅棒切割深度达到目标终止位置占比<设定值M0时,正向切割,即以先正向再反向的方式切割硅片,且切割时正向的切割线使用量大于反向的切割线使用量;2)硅棒切割深度达到目标终止位置占比≥设定值M0时,反向切割,即以先正向再反向的方式切割硅片,且切割时正向的切割线使用量小于反向的切割线使用量。本发明的方法可显著改善停机时硅棒出现切不透的问题,降低加切率、硅片TTV占比、单片耗线量和加工成本,并能提升切割良品率。 |
