一种金刚线切片厂区废水的回收利用方法及其应用
基本信息
申请号 | CN201910447482.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN110202464B | 公开(公告)日 | 2021-08-06 |
申请公布号 | CN110202464B | 申请公布日 | 2021-08-06 |
分类号 | B24B27/06;B28D5/04;B28D7/00;C02F1/00 | 分类 | 磨削;抛光; |
发明人 | 王珊珊;熊震;李飞龙;郝东东;柴权 | 申请(专利权)人 | 阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司 |
代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 巩克栋 |
地址 | 215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种金刚线切片厂区废水的回收利用方法及其应用,所述回收利用方法包括:将硅片线切工序中的切割用废水进行补充置换,并将置换出来的切割用废水用于硅片清洗机预清洗槽对硅片进行预清洗。该回收利用方法可以实现水资源的极大节约、同时大幅降低污水处理量,降低水处理的经济和环保压力。本发明通过对水资源的合理配置优化,在实现水资源节约的同时,也降低了硅片污片率、插片损耗率,实现了硅片质量的提升。 |
