硅棒杂质点位置判定方法

基本信息

申请号 CN201911344522.2 申请日 -
公开(公告)号 CN113030181A 公开(公告)日 2021-06-25
申请公布号 CN113030181A 申请公布日 2021-06-25
分类号 G01N25/72 分类 测量;测试;
发明人 翟传鑫;李飞龙 申请(专利权)人 阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司
代理机构 苏州携智汇佳专利代理事务所(普通合伙) 代理人 于欣
地址 471000 河南省洛阳市洛龙科技园赢洲路6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种硅棒杂质点位置判定方法,主要包括以下步骤:S1、提供红外探伤仪和硅棒,按照红外探伤仪的扫描顺序,对硅棒的四个侧面进行扫描,形成四幅扫描图;S2、利用红外探伤仪对每张扫描图进行杂质辨认,并记录下每个杂质点在对应扫描图中的X、Y坐标值;S3、根据扫描图中杂质点的清晰程度,选择任意相邻的两张杂质点清晰度高的图,列举出每张图中每个杂质点的X坐标值,并将每张图中杂质点的X坐标值单独成列,形成两列数据;S4、选定两列数据中的所有数据,使生成散点图,根据该散点图中杂质点的分布区域判定出硅棒的杂质面。相较于现有技术,本发明能够直接判断出硅棒的杂质面,为后续的切割工艺提供帮助。