气体质量流量控制器
基本信息
| 申请号 | CN96209896.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN2243092Y | 公开（公告）日 | 1996-12-18 |
| 申请公布号 | CN2243092Y | 申请公布日 | 1996-12-18 |
| 分类号 | G05D7/06 | 分类 | 控制；调节; |
| 发明人 | 应为忠;李然 | 申请（专利权）人 | 北京圣业科技发展有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100872北京市海淀区中国人民大学静园22楼31号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种气体质量流量控制器，其主要特征是在中空的基体内部设置一限流器，在基体上部采用毛细管三绕组式温度传感器，中间绕组为卡马斯加热圈，相对称的两侧绕组为热敏材料线圈，根据气体分子流过毛细管产生的温度，输出电阻差值，经电量转换电路，输出标准信号，实现测量和数字显示气体质量流量，再经控制电路和电磁调节阀，实现精密控制气体质量流量。 |
