惯性微机电传感器的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201010200713.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102275860B | 公开（公告）日 | 2014-12-31 |
| 申请公布号 | CN102275860B | 申请公布日 | 2014-12-31 |
| 分类号 | B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G01P15/125(2006.01)I;G01D5/241(2006.01)I;G01C19/00(2013.01)I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 毛剑宏;韩凤芹;唐德明 | 申请（专利权）人 | 丽水珏意芯诚电子科技合伙企业（有限合伙） |
| 代理机构 | 张家港市高松专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 张家港丽恒光微电子科技有限公司;上海丽恒光微电子科技有限公司;丽水珏意芯诚电子科技合伙企业（有限合伙）;浙江珏芯微电子有限公司 |
| 地址 | 215613 江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种惯性微机电传感器及其制造方法，该惯性微机电传感器，能够相对移动的主体和质量块，所述主体包括具有第一表面的第一主体和垂直并连接所述第一表面的第二主体，所述第一主体内具有平行于所述第一表面的第一电极，所述第二主体内具有垂直于所述第一表面的第二电极；所述质量块悬置在所述第二主体和第一主体形成的空间内，所述质量块包括平行且相对于所述第一表面的第三电极、垂直于所述第一表面的第四电极和质量层，所述第三电极和第四电极相连并构成U型凹槽，所述质量层填充于所述U型凹槽内，可以有效地提高惯性质量块的重量，提高惯性微机电传感器的精确度，并降低制造成本。 |
