微机电传感器及其形成方法
基本信息
| 申请号 | CN201110129992.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102249177B | 公开（公告）日 | 2014-02-05 |
| 申请公布号 | CN102249177B | 申请公布日 | 2014-02-05 |
| 分类号 | H04R19/04(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G01L9/12(2006.01)I | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 毛剑宏;唐德明 | 申请（专利权）人 | 丽水珏意芯诚电子科技合伙企业（有限合伙） |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 上海丽恒光微电子科技有限公司;丽水珏意芯诚电子科技合伙企业（有限合伙）;浙江珏芯微电子有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼501B室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种微机电传感器及其形成方法，所述微机电传感器包括：第一电极板，振膜，所述第一电极板和所述振膜相对设置，两者之间为空腔，所述振膜的一侧暴露于外界空气；还包括：第二电极板，设置于所述第一电极板和所述振膜之间，所述振膜与所述第二电极板固定电连接。由于第一电极板和第二电极板之间的距离相对较近，对电容的变化也就相对敏感，因此可以提高信噪比，也就是说，对于微机电麦克风可以提高声音信号的信噪比，对应微机电压力传感器可以提高压力信号的信噪比。 |
