一种大尺寸石墨烯玻璃的快速生长方法
基本信息
| 申请号 | CN201610474047.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107541714B | 公开（公告）日 | 2020-02-04 |
| 申请公布号 | CN107541714B | 申请公布日 | 2020-02-04 |
| 分类号 | C23C16/44;C23C16/26;C01B32/182 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘忠范;陈旭东;张艳锋 | 申请（专利权）人 | 北大资产经营有限公司 |
| 代理机构 | 北京律智知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京大学;北京石墨烯研究院有限公司 |
| 地址 | 100095 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南环路13号院3号楼4层B401 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种大尺寸石墨烯玻璃的快速生长方法，所述方法包括以下步骤：1)将大尺寸石英玻璃清洗；2)将清洗后的石英玻璃置于高温管式炉中，反应腔内温度为1000℃‑1100℃，反应腔内真空度抽至10Pa以下，排空；3)向反应腔内通入Ar和H2，待气流平稳后向反应腔内通入乙醇蒸气开始石墨烯生长过程，生长时间为4‑30分钟；4)石墨烯生长结束后，关闭乙醇蒸气，调低Ar和H2流量，温度降至室温后关闭Ar/H2，即得到大尺寸石墨烯玻璃。本发明能够将石墨烯玻璃制备时间由几小时缩短至4‑30分钟，利用本发明可以制备出更大尺寸的石墨烯玻璃。 |
