一种在PECVD中实现纵向及横向石墨烯可控制备的方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种在PECVD中实现纵向及横向石墨烯可控制备的方法

基本信息

申请号	CN201710083603.6	申请日	-
公开（公告）号	CN106927453B	公开（公告）日	2018-12-04
申请公布号	CN106927453B	申请公布日	2018-12-04
分类号	C01B32/186	分类	无机化学;
发明人	刘忠范;亓月;张艳锋	申请（专利权）人	北大资产经营有限公司
代理机构	北京方安思达知识产权代理有限公司	代理人	北京大学;北京石墨烯研究院有限公司
地址	100871 北京市海淀区颐和园路5号
法律状态	-

摘要

本发明属于石墨烯制备领域，具体地，涉及一种在PECVD中实现纵向及横向石墨烯可控制备的方法。本发明包括以下步骤：1)依次用乙醇、丙酮、异丙醇对玻璃基底进行清洗；然后用氩气吹干玻璃基底；2)将被法拉第笼包裹的玻璃基底置于PECVD腔内，将基底加热到540～580℃；3)加入氩气、甲烷与氢气，产生等离子体，生长60～120分钟；4)关闭等离子体发生源，在氩气氛围下自然降温至50℃以下，开腔得到的石墨烯玻璃样品。本发明在PECVD中通过法拉第笼效应在透明、绝缘基底上低温制备的二维横向石墨烯技术可以实现比同等基底、同等温度下，没有法拉第笼作用下得到的纵向石墨烯纳米墙更优的导电性、更高的透光率以及更好的均匀性。