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一种测量离子束流大小的法拉第筒装置

基本信息

申请号 CN201910980969.2 申请日 -
公开（公告）号 CN111308541B 公开（公告）日 2022-06-28
申请公布号 CN111308541B 申请公布日 2022-06-28
分类号 G01T1/29（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 霍昆;田龙;张丛 申请（专利权）人 北京烁科中科信电子装备有限公司
代理机构 长沙正奇专利事务所有限责任公司 代理人 -
地址 101111北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种测量离子束流大小的法拉第筒装置，包括储藏腔、束流腔、法拉第筒和电机，储藏腔和束流腔均是真空环境并且连通。电机位于储藏腔、束流腔外，借助电机和法拉第筒的连接实现法拉第筒在真空环境中旋转，又借助于法拉第筒的旋转实现了法拉第筒测量模式和退出模式的切换。法拉第筒在测量模式中可以对束流腔中的离子束流大小进行测量，在退出模式中法拉第筒完全处于储藏腔中不介入到离子束流中。本发明体积较小、组装简单、便于维护、理想真空环境获取更加快速并且能够灵活测量不同入射角度离子束的束流大小分布。