一种消除电极电荷积累的方法
基本信息
| 申请号 | CN201910981013.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112670149A | 公开（公告）日 | 2021-04-16 |
| 申请公布号 | CN112670149A | 申请公布日 | 2021-04-16 |
| 分类号 | H01J37/317(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 金洲 | 申请（专利权）人 | 北京烁科中科信电子装备有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 101111北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种消除电极电荷积累的方法，用恒流电源不断提供的电荷来中和电极积累的异性电荷，保证电极的电位稳定。本方法涉及离子注入机，属于半导体器件制造领域。高压电源A(1)输出直流正电压，提供给电极A(2)正电位，用于离子束的加速并使其获得能量，高压电阻A(4)构成回路，恒流电源A(5)提供的电子(7)用于中和电极A上所积累的正电荷(6)，保证电极A上电位的稳定。高压电源B(8)输出直流负电压，提供给电极B(9)负电位，用于抑制离子束中电子的发散，高压电阻B(9)构成回路，恒流电源B(11)提供的正电荷(13)用于中和其上所积累的电子(12)，保证电极B上电位的稳定。 |
