一种提高离子注入机晶元机械传输效率的方法
基本信息
| 申请号 | CN201910981011.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112670202A | 公开（公告）日 | 2021-04-16 |
| 申请公布号 | CN112670202A | 申请公布日 | 2021-04-16 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘海霞 | 申请（专利权）人 | 北京烁科中科信电子装备有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 101111北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种提高离子注入机晶圆机械传输的方法，通过调度模块提高离子注入机晶圆机械传输效率的方法，包括调度模块、机械手传输模块、运动模块、异常处理模块，该方法通过调度模块来控制机械手传输模块、运动模块，在晶圆传输过程中，若机械手传输模块或运动模块发生故障，则会触发异常处理模块进行系统保护，在晶圆传输过程中对机械手传输动作及电机动作进行优化，节约不必要的时间消耗，提高了晶圆机械传输效率。 |
