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一种离子注入机电扫描图形识别注入方法

基本信息

申请号	CN201910980544.1	申请日	-
公开（公告）号	CN113380598A	公开（公告）日	2021-09-10
申请公布号	CN113380598A	申请公布日	2021-09-10
分类号	H01J37/302（2006.01）I;H01J37/317（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	刘栋;田龙;张丛	申请（专利权）人	北京烁科中科信电子装备有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	101111北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种离子注入机电扫描的扫描装置和方法，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该装置包括：四个扫描电极板（1）、（2）、（3）、（4），束流（5），电极高压接线头（6），晶圆（7），束流在晶圆上的注入形状（8），上位机画图程序（9），基于打印机架构的图像分解程序（10），控制系统（11），扫描电源（12），等效坐标系（13）。该方法包括：以电扫描为扫描方式的离子注入过程中，为了提高其工作效率与工作灵活性，提出一种根据需要注入的图形来自动规划注入路径的方法。首先将要注入的图形在上位机中用特定的画图工具画出，此时利用打印机的图形处理方式将画出的图形进行坐标分解，同时上位机画出的图形与实际注入的晶圆为成比例关系，根据坐标分解得到的坐标结合特定的扫描算法，可以实现电扫描根据图形进行注入的注入方法。