一种定向台晶圆自动对中机构
基本信息
| 申请号 | CN201910980966.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112670224A | 公开（公告）日 | 2021-04-16 |
| 申请公布号 | CN112670224A | 申请公布日 | 2021-04-16 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 何山 | 申请（专利权）人 | 北京烁科中科信电子装备有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 101111北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种定向台晶圆自动对中机构，包括：对中拉钩(1)、固定支架(2)、摄像机(3)、晶圆(4)、定向轴(5)、凸轮(6)、托盘(7)、凸轮轴(8)、磁流体(9)。该装置通过凸轮(6)的旋转带动凸轮轴(8)在固定支架(2)中延直线滑动从而使对中拉钩(1)向内收缩，推动晶圆(4)向圆心移动，实现自动对中的功能，省去计算与补偿的繁杂过程，能够提高晶圆的位置精度与校准效率，提升晶圆传输效率。 |
