一种超薄掩膜版及其加工方法
基本信息
| 申请号 | CN202110159598.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112904663A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN112904663A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | G03F1/38;G03F1/82 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 钱超;杨波;洪明;王有明 | 申请（专利权）人 | 江苏高光半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 董成 |
| 地址 | 212400 江苏省镇江市句容经济开发区容宁创业园2#厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及超薄掩膜版技术领域，且公开了一种超薄掩膜版，包括第一L型防护板，所述第一L型防护板的内侧开设有放置槽，所述放置槽的内腔活动连接有超薄掩膜版本体。该超薄掩膜版及其加工方法，通过超薄掩膜版本体的外侧分别设有第一L型防护板和第二L型防护板，由于第一L型防护板的形状特点和第二L型防护板的形状特点，便于对超薄掩膜版本体的四侧进行防护，通过第一L型防护板和第二L型防护板之间利用第一伸缩杆、挡板和第一弹簧连接，便于将第二L型防护板的一侧卡在第一L型防护板的后侧上，使得第二L型防护板在不受外力的情况下第二L型防护板能够与第一L型防护板连接，提高了对超薄掩膜版本体四侧防护的稳定性。 |
