一种用于AMOLED蒸镀设备的磁铁板
基本信息
| 申请号 | CN202121029470.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215209600U | 公开（公告）日 | 2021-12-17 |
| 申请公布号 | CN215209600U | 申请公布日 | 2021-12-17 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I;C23C14/12（2006.01）I;C23C14/04（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I;H01L51/56（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 钱超;张蔡星;杨波;洪明;王有明 | 申请（专利权）人 | 江苏高光半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 南京天华专利代理有限责任公司 | 代理人 | 竞存;徐冬涛 |
| 地址 | 212400江苏省镇江市句容经济开发区容宁创业园2#厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于AMOLED蒸镀设备的磁铁板，包括背板，所述背板的一面均布有多个平行的锯齿镶嵌槽，所述锯齿镶嵌槽内设有锯齿磁条且相邻两个所述锯齿磁条的对外磁极相反，所述锯齿磁条由多个平行四边形磁块组成，相邻的两个所述平行四边形磁块端面相互连接且两个所述平行四边形磁块以连接端面对称设置，本实用新型可确保蒸镀区域边缘可以部分地被磁条覆盖，避免因长条形Gap的存在而导致的蒸镀区域边缘无磁条吸附、金属掩膜版贴合不良的风险，有助于减少AMOLED产品混色不良，同时，锯齿位置磁条的夹角也可以根据实际产品的需求进行设计调整，具有可调节性。 |
