一种非金属轴的膜厚测量方法及系统

基本信息

申请号 CN201310559699.0 申请日 -
公开(公告)号 CN103673861B 公开(公告)日 2016-05-25
申请公布号 CN103673861B 申请公布日 2016-05-25
分类号 G01B7/06(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 魏志远;冯小武;肖银华;吴虑 申请(专利权)人 富士胶片制造(深圳)有限公司
代理机构 北京市隆安律师事务所 代理人 富士施乐高科技(深圳)有限公司
地址 518000 广东省深圳市宝安区观澜镇大和村长青工业区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种非金属轴的膜厚测量方法及系统,首先将金属基准轴浸入所述涂液中按待测定非金属轴在所述涂液中涂布程序进行涂布,以涡电流测量法测量其膜厚,获取测定所述金属基准轴膜厚的涡电流,根据涡电流与所述待测非金属轴的关系获取待测非金属轴的膜厚。本发明的轴的膜厚测量方法及系统,测量准确,方法简便,大大提高了检测效率。