一种叠层双色红外焦平面探测器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201710786622.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107706261A | 公开（公告）日 | 2018-02-16 |
| 申请公布号 | CN107706261A | 申请公布日 | 2018-02-16 |
| 分类号 | H01L31/101;H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 司俊杰;曹先存;鲁正雄;张利学;侯治锦;吕衍秋 | 申请（专利权）人 | 中航凯迈（上海）红外科技有限公司 |
| 代理机构 | 郑州睿信知识产权代理有限公司 | 代理人 | 中国空空导弹研究院 |
| 地址 | 201306 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区天骄路336号1幢A206室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种叠层双色红外焦平面探测器及其制备方法，属于半导体光电子器件技术领域。本发明将分布布拉格反射镜结构引入叠层InAs/GaSb双色超晶格结构光敏芯片中，分别对叠层双色光敏吸收区未完全吸收的红外光进行反射，使之重新返回吸收区本发明。通过对叠层双色红外探测器的两个通道采用反射镜层，提高了芯片相应通道的光电吸收效率，达到了提高器件性能指标的目的，同时相应减少了外延生长第一通道外延结构层和第二通道外延结构层的难度。 |
