高效制作高精度多台阶微透镜阵列的方法
基本信息
| 申请号 | CN201410519354.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104237983B | 公开（公告）日 | 2016-09-28 |
| 申请公布号 | CN104237983B | 申请公布日 | 2016-09-28 |
| 分类号 | G02B3/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 侯治锦;司俊杰;韩德宽;陈洪许;吕衍秋;王巍 | 申请（专利权）人 | 中航凯迈（上海）红外科技有限公司 |
| 代理机构 | 郑州睿信知识产权代理有限公司 | 代理人 | 中国空空导弹研究院 |
| 地址 | 201306 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区天骄路336号1幢A206室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种高效制作高精度多台阶微透镜阵列的方法，将待制作的台阶阵列分为若干组，包括第一组、第二组，第一组与第二组首尾相接，每组的各台阶是深度连续的；同步制作第一组与第二组的各台阶，形成对应深度相同的两组台阶；将第二组台阶整体刻蚀一定的深度，与第一组台阶形成深度连续的台阶阵列。采用本发明的方法，分组同步制作，大大提升了制作效率，节省了成本。 |
