阵列基板及其制作方法和显示面板
基本信息
| 申请号 | CN202080014831.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113454783A | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN113454783A | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | H01L27/12（2006.01）I;H01L21/77（2017.01）I;G02F1/1362（2006.01）I;G02F1/1368（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 钟德镇;蔡志承;郑会龙;王新刚 | 申请（专利权）人 | 昆山龙腾光电股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海波拓知识产权代理有限公司 | 代理人 | 蔡光仟 |
| 地址 | 215301江苏省苏州市昆山开发区龙腾路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种阵列基板、显示面板及制作方法。阵列基板包括：基底；设于基底上的栅极；覆盖栅极的第一绝缘层；设于第一绝缘层上的第一半导体层和第二半导体层，第一半导体层和第二半导体层上设有对应栅极的沟道；第二半导体层包括层叠设置的第一金属氧化物半导体层和第二金属氧化物半导体层，第一金属氧化物半导体层和第二金属氧化物半导体层均在沟道处断开，第二金属氧化物半导体层的氧空位浓度小于第一金属氧化物半导体层的氧空位浓度；设于第二半导体层上的源极和漏极，并且源极和漏极均与第二半导体层导电接触。 |
