阵列基板及制作方法、显示面板
基本信息
申请号 | CN202110769687.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113467145A | 公开(公告)日 | 2021-10-01 |
申请公布号 | CN113467145A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
分类号 | G02F1/1368(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I;H01L29/45(2006.01)I | 分类 | 光学; |
发明人 | 钟德镇;邹忠飞 | 申请(专利权)人 | 昆山龙腾光电股份有限公司 |
代理机构 | 上海波拓知识产权代理有限公司 | 代理人 | 蔡光仟 |
地址 | 215301江苏省苏州市昆山开发区龙腾路1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种阵列基板及制作方法、显示面板,该阵列基板包括:基底;设于基底上的第一金属层,第一金属层包括扫描线和栅极;覆盖扫描线和栅极的第一绝缘层;设于第一绝缘层上侧的第一透明金属氧化物层,第一透明金属氧化物层包括源极和漏极;设于第一绝缘层上侧的第二金属层,第二金属层包括数据线;设于第一绝缘层上侧的半导体层,半导体层包括连接源极和漏极的有源层;设于第一绝缘层上侧的像素电极,像素电极与漏极导电连接。通过将源极和漏极采用透明金属氧化物层制成,透明金属氧化物的性能比较稳定,从而使得源极和漏极不会向TFT沟道扩散离子,提高了TFT的稳定性,避免了TFT阈值电压偏移、迁移率下降以及漏电流增大的问题。 |
