阵列基板及制作方法、显示面板

基本信息

申请号 CN202110769687.5 申请日 -
公开(公告)号 CN113467145A 公开(公告)日 2021-10-01
申请公布号 CN113467145A 申请公布日 2021-10-01
分类号 G02F1/1368(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I;H01L29/45(2006.01)I 分类 光学;
发明人 钟德镇;邹忠飞 申请(专利权)人 昆山龙腾光电股份有限公司
代理机构 上海波拓知识产权代理有限公司 代理人 蔡光仟
地址 215301江苏省苏州市昆山开发区龙腾路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种阵列基板及制作方法、显示面板,该阵列基板包括:基底;设于基底上的第一金属层,第一金属层包括扫描线和栅极;覆盖扫描线和栅极的第一绝缘层;设于第一绝缘层上侧的第一透明金属氧化物层,第一透明金属氧化物层包括源极和漏极;设于第一绝缘层上侧的第二金属层,第二金属层包括数据线;设于第一绝缘层上侧的半导体层,半导体层包括连接源极和漏极的有源层;设于第一绝缘层上侧的像素电极,像素电极与漏极导电连接。通过将源极和漏极采用透明金属氧化物层制成,透明金属氧化物的性能比较稳定,从而使得源极和漏极不会向TFT沟道扩散离子,提高了TFT的稳定性,避免了TFT阈值电压偏移、迁移率下降以及漏电流增大的问题。