可自锁的基板抽检装置

基本信息

申请号 CN202011222459.8 申请日 -
公开(公告)号 CN112349632A 公开(公告)日 2021-02-09
申请公布号 CN112349632A 申请公布日 2021-02-09
分类号 H01L21/67(2006.01)I; 分类 基本电气元件;
发明人 谢秩生;杨纯利 申请(专利权)人 宏茂微电子(上海)有限公司
代理机构 上海得民颂知识产权代理有限公司 代理人 陈开山
地址 201799上海市青浦区工业园区崧泽大道9688号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及半导体封装领域,公开了一种可自锁的基板抽检装置。本发明的基板抽检装置,包括:料盒、抽检治具和锁止机构,抽检治具包括:左侧板、右侧板、后侧板和底侧板,左侧板、右侧板、后侧板和底侧板形成接纳基板的容纳空间,锁止机构呈镜像对称的设置在抽检治具的前端,包括:转轴、挡条和弹簧,挡条通过转轴可转动的设置在抽检治具上,弹簧设置在底侧板与挡条之间。本发明的基板抽检装置,抽检治具与料盒连接时,挡条呈水平状态,使料盒的放置槽与抽检治具的容纳空间相连通,方便基板的取出或放入;抽检治具在与料盒分离后,弹簧推动挡条,挡条将抽检治具的两侧锁止,基板不会从抽检治具的前端滑出,避免了基板的损坏。