一种金刚石单晶生长炉设备及其工作方法
基本信息
| 申请号 | CN202210010240.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114318530A | 公开（公告）日 | 2022-04-12 |
| 申请公布号 | CN114318530A | 申请公布日 | 2022-04-12 |
| 分类号 | C30B29/04（2006.01）I;C30B25/00（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 侯荣华;王红雪;彭俊杰;刘敏强;宁树兴 | 申请（专利权）人 | 北京清碳科技有限公司 |
| 代理机构 | 广东省中源正拓专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 党冲 |
| 地址 | 100000北京市顺义区林河经济开发区林河大街22号院26号楼5层501室（科技创新功能区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种金刚石单晶生长炉设备，包括炉体，在炉体的一侧开设有进气口，然后在炉体的一侧设置有气体混装罐，然后在气体混装罐的下方设置增压组件，其次在炉体的内部转动设置有生长组件，位于生长组件的上方设置有冷却组件，炉体的内部设置有若干加热管，然后在炉体的侧面呈环形阵列设置若干门卡，在炉门的外部呈环形阵列设置若干连接卡，然后将该炉体的炉门旋转卡接于门卡内，然后通过若干密封螺栓进行固定，其中炉门的一侧设置有密封圈，在炉门进行卡接安装时，可以有效地保证该生长炉的密封性，同时保证生长炉在满足高压高温情况下的稳定性。 |
