一种单晶金刚石生长过程中的监测装置
基本信息
| 申请号 | CN202010976204.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112197728A | 公开（公告）日 | 2021-01-08 |
| 申请公布号 | CN112197728A | 申请公布日 | 2021-01-08 |
| 分类号 | G01B21/08(2006.01)I;G01D21/00(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 侯荣华;彭俊杰;王红雪;刘敏强;宁树兴;柴喜红;文首名 | 申请（专利权）人 | 北京清碳科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京艾皮专利代理有限公司 | 代理人 | 李德胜 |
| 地址 | 101300北京市顺义区林河经济开发区林河大街22号院26号楼5层501室（科技创新功能区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明适用于单晶金刚石生产设备技术领域，提供了一种单晶金刚石生长过程中的监测装置；包括：底座；固定安装在底座上的文丘里管、第一混合腔、第二混合腔、电离室和沉积室；所述沉积室上设置有观察窗，所述底座上固定安装有支架，所述支架上设置有位置可调的监测设备，所述监测设备设置在观察窗的上方；所述文丘里管、第一混合腔、第二混合腔、电离室和沉积室依次连通；所述文丘里管的颈部设置有与其内部连通的第一输入端。本发明实现了对金刚石成长情况的检测，同时保证了金刚石的成长质量。 |
