一种单晶金刚石生长设备
基本信息
| 申请号 | CN202010974601.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112176406B | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN112176406B | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | C30B25/00;C30B29/04 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 侯荣华;彭俊杰;王红雪;刘敏强;宁树兴;柴喜红;文首名 | 申请（专利权）人 | 北京清碳科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京艾皮专利代理有限公司 | 代理人 | 李德胜 |
| 地址 | 101300 北京市顺义区林河经济开发区林河大街22号院26号楼5层501室（科技创新功能区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明适用于金刚石生产技术领域，提供了一种单晶金刚石生长设备；包括：机架；所述机架上固定安装有进气系统、冷却循环系统、电离室和沉积室；其中，所述电离室内部设置有自转动设置的电离筒；所述电离筒外侧设置有微波系统；所述电离筒内部设置有分气筒，所述电离室的输出端与沉积室的输入端连通；所述分气筒上阵列设置有出气孔，且所述分气筒外侧阵列设置有螺旋叶；所述分气筒底部设置有第二通道和第一通道，所述第二通道与分气筒内部连通，所述第一通道与电离筒内部连通，所述第一通道和调节腔与冷却循环系统循环连通。本发明很好地保证了生长金刚石的质量。 |
