一种固态原材料源瓶及具有其的CVD装置
基本信息
| 申请号 | CN202110600189.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113186513A | 公开（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申请公布号 | CN113186513A | 申请公布日 | 2021-07-30 |
| 分类号 | C23C16/448 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘勇;徐志军;江汉;王明;周定;刘敏 | 申请（专利权）人 | 聚灿光电科技（宿迁）有限公司 |
| 代理机构 | 苏州威世朋知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 沈晓敏 |
| 地址 | 223800 江苏省宿迁市经济技术开发区东吴路南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明揭示了一种固态原材料源瓶及具有其的CVD装置。固态原材料源瓶用于CVD制程中提供固态原材料，所述固态原材料源瓶具有至少一层镂空挡板，所述至少一层镂空挡板悬设于所述固态原材料源瓶的内壁上。本发明于固态原材料源瓶中设置镂空挡板，载气会受到镂空挡板的阻挡，会有部分的载气行进到固态原材料源瓶的侧壁及底面，从而保证在整个使用周期内，载气会到达固态原材料源瓶的各个部位，即载气与固态原材料源的接触面积较大(例如大于S1)，达到一个稳定的源物质量的最大值，如此，源效率在整个周期会保持平稳，从而利于生产监控。 |
