一种两端进气的化学气相沉积炉
基本信息
| 申请号 | CN201911363720.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111020530A | 公开（公告）日 | 2020-04-17 |
| 申请公布号 | CN111020530A | 申请公布日 | 2020-04-17 |
| 分类号 | C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 汪洋;刘佳宝;万强;柴攀;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人 | 湖南德智新材料有限公司 |
| 代理机构 | 长沙朕扬知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 湖南德智新材料有限公司 |
| 地址 | 412007 湖南省株洲市天元区中国动力谷自主创新园（研发中心C栋2楼202号） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种两端进气的化学气相沉积炉，包括进气系统、沉积炉、抽气系统和控制装置，沉积炉包括钢体外壳和用于容置待气相沉积的工件的石墨坩埚，钢体外壳罩设于石墨坩埚的外部，沉积炉的两端均设有连通石墨坩埚的进气口和出气口，两个进气口连接进气系统，两个出气口连接抽气系统；分布于沉积炉两端的一进气口和一出气口为一组，控制装置控制进气口和出气口的启闭，使同一时间内有且仅有一组的进气口和出气口开启。本发明的两端进气的化学气相沉积炉具有简单实用、能提高内部气体浓度均匀性和产品涂层厚度均匀性等优点。 |
