一种两端进气的化学气相沉积炉

基本信息

申请号 CN201911363720.3 申请日 -
公开(公告)号 CN111020530A 公开(公告)日 2020-04-17
申请公布号 CN111020530A 申请公布日 2020-04-17
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 汪洋;刘佳宝;万强;柴攀;其他发明人请求不公开姓名 申请(专利权)人 湖南德智新材料有限公司
代理机构 长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 湖南德智新材料有限公司
地址 412007 湖南省株洲市天元区中国动力谷自主创新园(研发中心C栋2楼202号)
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种两端进气的化学气相沉积炉,包括进气系统、沉积炉、抽气系统和控制装置,沉积炉包括钢体外壳和用于容置待气相沉积的工件的石墨坩埚,钢体外壳罩设于石墨坩埚的外部,沉积炉的两端均设有连通石墨坩埚的进气口和出气口,两个进气口连接进气系统,两个出气口连接抽气系统;分布于沉积炉两端的一进气口和一出气口为一组,控制装置控制进气口和出气口的启闭,使同一时间内有且仅有一组的进气口和出气口开启。本发明的两端进气的化学气相沉积炉具有简单实用、能提高内部气体浓度均匀性和产品涂层厚度均匀性等优点。