一种化学气相沉积尾气回收装置
基本信息
| 申请号 | CN201911329217.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110975433A | 公开（公告）日 | 2020-04-10 |
| 申请公布号 | CN110975433A | 申请公布日 | 2020-04-10 |
| 分类号 | B01D46/00;B01D46/12;B01D53/00;B01D53/04;C01B33/107;C07F7/12;C07F7/20;C23C16/32;C23C16/44 | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 刘佳宝;汪洋;万强;柴攀;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人 | 湖南德智新材料有限公司 |
| 代理机构 | 长沙朕扬知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 湖南德智新材料有限公司 |
| 地址 | 412007 湖南省株洲市天元区中国动力谷自主创新园（研发中心C栋2楼202号） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种化学气相沉积尾气回收装置，包括活性炭毡过滤器、一级冷却回收器和二级冷却回收器，活性炭毡过滤器的入口通过管道与化学气相沉积炉的排气口连通，活性炭毡过滤器的出口通过管道与一级冷却回收器的入口端相连通，一级冷却回收器的出口通过管道与二级冷却回收器的入口端相连通，二级冷却回收器的出口端与真空泵相连接。本发明可以有效清除化学气相沉积法制备碳化硅涂层或碳化硅纳米线等尾气中的粉尘颗粒，并回收尾气中的四氯化硅和三氯甲基硅烷，降低生产成本，减少对环境的污染的同时，延长了真空泵的使用寿命。 |
