一种化学气相沉积尾气再利用系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN201911327220.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110975432A | 公开（公告）日 | 2020-04-10 |
| 申请公布号 | CN110975432A | 申请公布日 | 2020-04-10 |
| 分类号 | B01D46/00;B01D46/12;C23C16/32 | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 刘佳宝;汪洋;万强;柴攀;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人 | 湖南德智新材料有限公司 |
| 代理机构 | 长沙朕扬知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 湖南德智新材料有限公司 |
| 地址 | 412007 湖南省株洲市天元区中国动力谷自主创新园（研发中心C栋2楼202号） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种化学气相沉积尾气再利用系统及方法，包括一级活性炭毡过滤器、二级活性炭毡过滤器、三氯甲基硅烷供气系统和流量控制系统，一级活性炭毡过滤器的入口通过管道与第一化学气相沉积炉的排气口连通，一级活性炭毡过滤器的出口通过管道与二级活性炭毡过滤器的入口端相连通，二级活性炭毡过滤器的出口通过管道与流量控制系统相连通，三氯甲基硅烷供气系统通过管道与流量控制系统相连通，流量控制系统出口与第二化学气相沉积炉相连通。本发明可以将化学气相沉积法尾气中的四氯化硅、三氯甲基硅烷、氢气和氩气等有效成分再次利用，进行二次沉积，提高三氯甲基硅烷的利用率，降低生产成本，并减少对环境的污染。 |
