一种高精度声表面波阵列传感器

基本信息

申请号 CN201710669333.7 申请日 -
公开(公告)号 CN107515062A 公开(公告)日 2017-12-26
申请公布号 CN107515062A 申请公布日 2017-12-26
分类号 G01L1/25(2006.01)I;G01L11/04(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 武瑞德;黄鑫;邱浩洋;武俊安;张文全 申请(专利权)人 雅泰歌思(上海)通讯科技有限公司
代理机构 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 雅泰歌思(上海)通讯科技有限公司
地址 201207 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区祖冲之路2305号B幢802室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种高精度声表面波阵列传感器,包括:一基板,至少两个传感单元,每个所述传感单元固设于所述基板上;每个所述传感单元包括:压电基底;其中,各所述传感单元的压电基底不同,通过不同所述压电基底的所述传感单元的组合实现多个待测的物理参数的测量。本发明采用具有不同特性的压电基底实现对同一位置多参数并行测量;且各传感单元采用时分多路复用规则,使各传感单元测量的参数具有极高的时间耦合度。对采用同一种压电基底的传感单元可以批量生产,简化了标定过程。