一种延迟线型声表面波传感器阵列

基本信息

申请号 CN201710227506.X 申请日 -
公开(公告)号 CN107024302A 公开(公告)日 2017-08-08
申请公布号 CN107024302A 申请公布日 2017-08-08
分类号 G01L1/16(2006.01)I;G01L11/04(2006.01)I;H03H9/42(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 武瑞德;黄鑫;邱浩洋;武俊安;张文全 申请(专利权)人 雅泰歌思(上海)通讯科技有限公司
代理机构 上海硕力知识产权代理事务所 代理人 雅泰歌思(上海)通讯科技有限公司
地址 201207 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区祖冲之路2305号B幢802室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种延迟线型声表面波传感器阵列,包括:至少两个延迟线型声表面波传感器;每个延迟线型声表面波传感器包括:压电基底;叉指换能器,设置于压电基底上;反射栅组,设置于压电基底上,且位于叉指换能器的一侧;反射栅组和叉指换能器之间具有第一间距;其中,任意两个延迟线型声表面波传感器中的第一间距不相等;任意两个延迟线型声表面波传感器中的压电基底和反射栅组相同。本发明实现了并行传感(敏感),且读取速度快。具有标定简单的优点。另外,阵列中各延迟线型声表面波传感器的反射栅时延信息互相作为参考,可以有效消除空间环境的干扰,大大提高了抗干扰能力。